IoT 기술이 산업현장에 적용되면서 산업인터넷은 발전의 방향과 추세가 되었습니다. 가스 유량 매개변수는 산업 생산, 과학적 실험 측정, 다양한 경제성 계산에 필수적인 데이터로 에너지 계량의 중요한 구성 요소를 구성합니다. 산업 자동화에 대한 적용이 점점 더 광범위해지고 있습니다. 오늘날 국가 경제에서 가스 유량 센서의 역할은 점점 더 중요해지고 있습니다. 가스 유량 센서는 천연 가스, 야금, 광업, 석유, 항공, 산업 포장 및 산업 클린룸과 같은 분야에 존재합니다. 아래에서는 산업 환경에서 유량 센서의 관련 응용 분야를 살펴봅니다.
유체 흐름을 측정하는 기기를 총칭하여 유량계 또는 유량 게이지라고 부르며 산업 측정에서 가장 중요한 장치 중 하나입니다. 유체 흐름 측정은 산업 자동화 생산 및 공정 제어에서 중요한 위치를 차지합니다. 유체는 크게 액체와 기체로 분류되며, 유량 센서는 두 가지를 모두 측정하는 핵심 구성 요소입니다.
가스 흐름을 측정함으로써 흐름 프로세스를 모니터링하고, 생산 제어를 자동화하고, 에너지 관리를 구현할 수 있습니다. 웨이퍼 또는 정밀 기기 생산 시설과 같은 첨단 정밀 제조 시설에서는-클린룸 내에서 생산이 이루어져야 합니다. 이러한 클린룸의 공기는 생산 요구 사항을 충족하기 위해 클래스 1,000 또는 클래스 100 청정도 수준을 달성해야 합니다. 밀폐된 클린룸은 매일 깨끗한 공기로 교체해야 합니다. 이를 위해서는 자동화된 모니터링 및 제어를 위한 유량 센서가 필요하며, 생산 요구 사항을 충족하는 동시에 불필요한 에너지 과소비를 방지하여 입력-출력 비율을 효과적으로 향상시킵니다. Siargo FS4001 가스 질량 유량 센서는 Siargo의 독점 MEMS 유량 센서 및 패키징 기술을 활용합니다. 측정 범위는 0~30sccm~0~1000sccm입니다. 각 모델의 유속은 특별히 설계된 패키징과 지능형 전자 장치를 통해 달성되어 최적의 감도를 제공합니다.
하우징은 화학적으로 불활성이고 열적으로 안정적인 폴리카보네이트 소재로 제작되었습니다. 이 제품은 Siargo의 고유한 MEMS 칩 아키텍처, 특수 패키징 기술 및 견고한 센서 케이스의 이점을 활용하여 5BAR(73PSI)의 높은 압력 등급을 갖추고 있습니다. 응용 분야는 계측(예: 가스 크로마토그래피-질량 분석기), 누출 감지, 공정 제어, 가스 유량 측정 및 의료 응용 분야를 포함하여 광범위한 범위에 걸쳐 있습니다. FS4001은 아날로그 및/또는 디지털 사용자 인터페이스를 제공하기 위해 8~24VDC 전원 공급 장치가 필요합니다. 아날로그 출력은 0~풀스케일 흐름에 해당하는 0.5~4.5VDC의 선형입니다. 디지털 출력은 RS232를 통해 전송됩니다. RS232 통신 프로토콜은 이 매뉴얼에서 찾을 수 있습니다.
둘째, 산업용 애플리케이션에 따라 센서는 흐름 유형과 마이크로{0}}흐름 유형으로 분류될 수 있습니다. 예를 들어, 미세-유량 제어는 촉매 반응을 위한 산소 추가 또는 감자칩 포장의 질소 충전과 같은 시나리오에서 최적의 모니터링을 달성하는 데 필수적입니다. Gcain.com에서 제공하는 마이크로{4}}유량 센서 F1031은 열역학적 원리를 활용하여 흐름 채널 내의 가스 흐름을 감지하여 뛰어난 정확성과 반복성을 제공합니다. F1031 마이크로-유량 센서에는 내부 온도 센서가 통합되어 있으며 각 장치는 독점적인 온도 보상 교정을 거칩니다. 또한 편리한 사용을 위해 선형 아날로그 전압 출력을 제공합니다.
칩은 두 개의 열전대 스택과 가열 저항기로 구성됩니다. 열전대 스택은 가열 저항기의 업스트림과 다운스트림에 대칭적으로 위치합니다. 가열 저항기와 열전대 스택의 열접점은 단열 베이스에 장착됩니다. 가열 저항기는 열전대 접합부를 따뜻하게 합니다. 열접점과 냉접점 사이의 온도 구배는 출력 전압-을 생성하여 본질적인 Seebeck 효과를 생성합니다. 유체가 정지해 있을 때 등온선은 가열 저항기 중심에 수직인 직선을 대칭적으로 추적하여 양쪽 대칭 지점에서 동일한 온도를 유지합니다. 유체가 왼쪽에서 오른쪽으로 흐를 때 등온선은 오른쪽으로 기울어집니다. 발열체 양쪽의 대칭 위치의 온도는 더 이상 동일하지 않습니다. 이 온도 차이는 가열 요소의 양쪽에 배치된 열전대 스택으로 측정할 수 있습니다. 유체의 열 전달은 유체 질량과 열용량에만 의존하므로 센서는 유체 질량 유량을 직접 측정할 수 있습니다.
또한 생산을 위해 질소, 암모니아 또는 불활성 가스가 필요한 산업 응용 분야에서는 측정 및 모니터링을 위해 가스 유량 센서를 사용합니다. GCA가 제공하는 FS4000 시리즈 질량 유량 센서는 일반 가스 유량 모니터링을 위해 특별히 개발된 MEMS 유량 센서 기술과 지능형 전자 제어 기술을 활용합니다. 이 센서는 압력 손실이 적은 가스 질량 흐름을 직접 측정합니다. 이는 정화된 공기 또는 질소 흐름을 모니터링하는 데 적합하며 환경 샘플러(예: 크로마토그래피 기기)에도 사용할 수 있습니다. FS4003 질량 유량 센서는 파이프 내경이 3mm이고 최대 5SLPM의 비용 효과적인 측정 범위를 제공합니다.- 입자 계수기 및 각종 분석 기기에 적합합니다. FS4008 질량 유량 센서는 파이프 내경이 8mm이고 측정 범위가 최대 50SLPM입니다. 이는 공기 샘플러 및 가스 분석기와 같은 마취 장비 및 청정 가스 감지 응용 분야에 사용할 수 있습니다.